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快速退火Sol-Gel PZT铁电薄膜的性能研究
报道了以乙酸铅、乙酸氧锆和钛酸正丁酯为原料,用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法,经多次旋转涂膜,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了PZT凝胶薄膜。用快速......
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